摘要：本實用新型涉及硅片加工技術領域，尤其涉及一種半導體擴散設備石英舟支撐密封裝置，其包括驅動裝置、傳動裝置、驅動軸、法蘭構件、和支撐軸，所述驅動裝置與所述傳動裝置相連，所述傳動裝置與所述驅動軸相連，所述法蘭構件的下端與所述驅動軸的上端連接，所述法蘭構件的上端與所述支撐軸連接，所述驅動軸、所述支撐軸和所述法蘭構件圍合形成法蘭密封腔；本實用新型的目的是提供一種半導體擴散設備石英舟支撐密封裝置以解決現有旋轉裝置支撐剛性較低，難以保證旋轉裝置上石英舟的水平性，且支撐密封裝置的結構不緊湊、占用空間大，導致石英舟產量低的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人郝琪;林欣家;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201521133777.1
- 申請時間2015年12月30日
- 申請公布號CN205452252U
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號H01L21/673(2006.01)I;
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