摘要：一種修改襯底載體以提高處理性能的方法，包括在由襯底載體支撐的襯底上沉積材料或制造器件。然后根據它們在襯底載體上的對應位置測量在襯底上沉積的層的參數。使在襯底上制造的至少一些器件的測量的參數或沉積的層的特性與襯底載體的物理性質關聯，以獲得與襯底載體上的多個位置對應的襯底載體的多個物理性質。然后在襯底載體上的多個對應位置中的一個或更多個處修改襯底載體的物理性質，以根據襯底載體上的位置獲得沉積的層或制造的器件的期望的參數。
- 專利類型PCT發明
- 申請人維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司;
- 發明人J·曼古姆;W·E·奎因;
- 地址美國紐約
- 申請號CN201080048148.2
- 申請時間2010年11月12日
- 申請公布號CN102598239A
- 申請公布時間2012年07月18日
- 分類號H01L21/673(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;
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