摘要：本實用新型提供了一種儲片盒換氣歧管，豎直安裝于開門機構上。所述一種儲片盒換氣歧管設置進氣孔和出氣孔，所述出氣孔與豎直方向具有預定的傾斜角度，所述出氣孔與進氣孔相通。本實用新型通過進氣孔向歧管通入氮氣等氣體，并通過出氣孔向儲片盒的腔內勻速注入氮氣等氣體，降低儲片盒腔內的含氧量，為儲片盒營造一個低氧、潔凈的微環境。另外由于在換氣過程中，在整個縱向都有出氣孔，因此形成的層流氣流可以最充分的排走儲片盒內的空氣，并且不容易卷起儲片盒內部的顆粒；本實用新型的歧管能夠有效防止儲片盒門的開門機構將門打開時污染內部的微環境。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人孫晉博;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201520248103.X
- 申請時間2015年04月22日
- 申請公布號CN204741007U
- 申請公布時間2015年11月04日
- 分類號H01L21/673(2006.01)I;
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