摘要：本發明涉及一種用于氣體的質量流量控制器，包括殼體和與殼體緊密螺接的本體，殼體內部設置有支架，一流量傳感器和電路板分別與支架螺紋連接，本體內設有氣體通道，一電磁閥固定在本體上部，所述流量傳感器和電磁閥分別與氣體通道相通，所述本體內有一壓力傳感器，壓力傳感器位于本體內的氣體通道上，氣體的流通量根據流量傳感器和壓力傳感器的數值進行調整。本質量流量控制器屬于壓力不敏感型，全金屬密封結構，耐腐蝕，應用范圍廣。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人蘇乾益;牟昌華;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN200910238445.2
- 申請時間2009年11月20日
- 申請公布號CN101714003B
- 申請公布時間2012年07月25日
- 分類號G05D7/00(2006.01)I;G05D7/06(2006.01)I;
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