摘要：本實用新型涉及一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：它包括兩定位軸，所述兩定位軸上連接有一護板框架，所述護板框架通過一轉軸機構連接一翻轉板的底部前端；所述護板框架內的兩定位軸上連接一固定板，在所述固定板上連接一由驅動裝置連接的曲柄連桿機構，所述曲柄連桿機構的輸出端通過一轉塊連接所述翻轉板的底部后端，所述翻轉板的頂部連接一硅片盒，當所述曲柄連桿機構的曲柄在0～180°范圍內往復間歇擺動時，連接所述硅片盒進行仰俯擺動。本實用新型的核心機構—曲柄聯桿機構和一轉軸機構的設置具有結構簡單合理，即能實現自動俯仰，又能實現平穩俯仰，解決了已有技術中存在的難題。
- 專利類型實用新型
- 申請人陳百捷;北京自動化技術研究院;
- 發明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經濟開發區大雄郁金香20號樓B-102
- 申請號CN200820123233.0
- 申請時間2008年10月24日
- 申請公布號CN201319371Y
- 申請公布時間2009年09月30日
- 分類號H01L21/673(2006.01)I;
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