摘要:一種氣相沉積源、系統及相關的沉積方法。提供與以難于控制的或者不穩定的方式蒸發或升華的材料一起使用的氣相沉積源。本發明特別適用于沉積有機材料,例如用于在有機發光設備中形成一層或多層的那些有機材料。
- 專利類型PCT發明
- 申請人維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司;
- 發明人S·W·普里迪;C·M·康倫;
- 地址美國紐約
- 申請號CN200980155439.9
- 申請時間2009年12月16日
- 申請公布號CN102301032A
- 申請公布時間2011年12月28日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;