摘要：一種線沉積源，包括多個坩鍋，每個坩鍋容納沉積材料。熱屏蔽件提供用于所述多個坩鍋中的至少一個的至少局部熱隔離。本體包括多個傳導槽道。所述多個傳導槽道中的每一個的輸入與所述多個坩鍋中的相應一個的輸出連接。加熱器升高該多個坩鍋的溫度，這樣，每個坩鍋將沉積材料蒸發至該多個傳導槽道中。多個噴嘴中的每一個的輸入與所述多個傳導槽道中的一個的輸出連接。蒸發的沉積材料從坩鍋通過傳導槽道被輸送給噴嘴，在噴嘴處，蒸發的沉積材料從該多個噴嘴排出，以形成沉積流。
- 專利類型發明專利
- 申請人維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司;
- 發明人C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美國紐約
- 申請號CN200910262492.0
- 申請時間2009年12月18日
- 申請公布號CN101845612A
- 申請公布時間2010年09月29日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;
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