摘要：一種淀積源，所述淀積源包括坩鍋和本體，該坩鍋用來包含淀積材料，該本體包括傳導通道。傳導通道的輸入部聯接到坩鍋的輸出部上。加熱器加熱坩鍋，從而坩鍋將淀積材料蒸發到傳導通道中。隔熱屏在加熱器和本體中的至少一者周圍定位，該隔熱屏包括多個耐熱材料層。多個噴嘴聯接到傳導通道的輸出部上，從而蒸發淀積材料從坩鍋通過傳導通道運輸到多個噴嘴，從而，蒸發淀積材料從多個噴嘴排出，以形成淀積通量。
- 專利類型PCT發明
- 申請人維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司;
- 發明人C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美國紐約
- 申請號CN201080059918.3
- 申請時間2010年06月17日
- 申請公布號CN102712993A
- 申請公布時間2012年10月03日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
