摘要：一種基于物料供應系統模型的工藝環境壓力調節方法，其包括根據物料供應系統特點建立傳遞函數反應模型；將進出舟階段的反應腔室與微環境作為一個整體，形成組合腔室，引入參考輸入偏差積分系統，建立增廣狀態狀態方程；獲取物料供應系統系統狀態反饋控制律；通過物料供應系統的閉環特征方程式求得反饋控制律參數；根據微環境和反應腔室的壓差，以及所述反饋控制律參數，對反應腔室與微環境作為一個整體進行同步調節流量控制機構，實現物料在進出舟階段的壓力穩定。因此，本發明將微環境調節模塊接入真空泵環節，把進出舟階段的反應腔室與微環境作為一個整體進行同步調節，進而通過物料壓力環境的閉環狀態方程，實現物料在進出舟階段的壓力穩定。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人劉建濤;鐘結實;王春洪;徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410042947.9
- 申請時間2014年01月29日
- 申請公布號CN103757610B
- 申請公布時間2015年10月28日
- 分類號C23C16/52(2006.01)I;
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