摘要：一種基于串級控制的微環境壓力調度方法包括根據物料供應環境系統特點建立傳遞函數反應模型；引入參考輸入偏差積分系統，建立增廣狀態狀態方程；獲取該環境系統系統狀態反饋調節控制律；通過物料供應系統的閉環特征方程式求得控制律參數；檢測并接收環境壓力和氧氣指標信號，根據反饋誤差以及狀態反饋調節控制律參數，動態調節輸入物料流量和風機功率機構，以控制環境壓力指標。因此，本發明的環境系統排氣終端接入真空泵系統，以環境壓力為主環路調節指標，環境氧氣為外環調節指標，組成雙閉環調節結構，并基于系統反應模型，把環境壓力和氧氣指標作為檢測信號，根據設計出的控制律和反饋誤差動態調節輸入物料流量和風機功率，快速實現環境指標。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人劉建濤;鐘結實;王春洪;徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410042944.5
- 申請時間2014年01月29日
- 申請公布號CN103757609A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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