摘要：本實用新型公開了一種安全性智能控制化學氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發生器電控裝置、氫氣報警器探頭和氫氣報警控制器，所述氫氣報警控制器與氫氣發生器電控裝置并聯連接；本實用新型設計合理，結構簡單，氫氣報警控制器會給出一個開關信號切斷氫氣發生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發生意外的可能性降低到零，CVD系統可以檢測切斷保護試驗中意外出現的危險，各個檢測精度部件可以根據實驗需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽貝意克設備技術有限公司;
- 發明人孔令杰;
- 地址230031 安徽省合肥市廬陽區濉溪路312號
- 申請號CN201320052522.7
- 申請時間2013年01月30日
- 申請公布號CN203034097U
- 申請公布時間2013年07月03日
- 分類號C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;
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