摘要：本實用新型涉及半導體立式熱處理設備技術領域，尤其涉及一種爐門控制機構。該爐門控制機構的升降氣缸通過導向軸與爐門連接，旋轉氣缸通過擺桿機構與爐門連接，限位機構用于限制爐門的升降和旋轉的位置。本實用新型的爐門控制機構通過升降氣缸控制爐門的升降，通過旋轉氣缸控制爐門的旋轉，通過導向軸承擔徑向傾覆力，使機構更加穩定，通過限位機構的設置使爐門實現精確開閉，其具有結構簡單，穩定可靠的特點，可以精確方便地控制爐門的運動過程，節約成本，提高了工作效率，同時可以進一步優化微環境的潔凈度。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張敏亮;林欣家;郝琪;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320859115.7
- 申請時間2013年12月24日
- 申請公布號CN203744726U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號F27D1/18(2006.01)I;
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