摘要：本實用新型公開了一種基于表面光電壓法的半導體材料參數測試儀，該測試儀包括箱體、懸臂、測量探頭、樣品臺，測量探頭內包括紅外激光器、感應電極片。脈沖光源驅動器位于箱體內，待測半導體材料樣品放置在樣品臺上，測量探頭在待測樣品的正上方，感應電極片與電荷放大器之間通過同軸電纜線連接，紅外激光器與脈沖光源驅動器之間通過兩芯屏蔽線連接。其測試方法是：紅外激光器發射的脈沖光垂直照射在樣品上，感應電極片接收樣品表面微弱光電壓產生的靜電荷，并傳送至電荷放大器的輸入端，經信號處理電路處理后，由液晶顯示屏顯示待測樣品的導電類型及電阻率/方阻數值。本實用新型具有體積小、重量輕、功耗小、成本低的優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人廣州市昆德科技有限公司;
- 發明人王昕;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區白沙水路123號東門三樓
- 申請號CN201320554914.3
- 申請時間2013年09月06日
- 申請公布號CN203433085U
- 申請公布時間2014年02月12日
- 分類號G01R31/26(2014.01)I;
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