摘要：本實用新型公開了一種微波反射無接觸硅晶體載流子復合壽命測試儀，包括箱體、立臂、探頭、樣品臺。探頭內包括微波源、環形器、檢波器、寬帶放大器、脈沖光源驅動器、脈沖激光器和微帶天線。寬帶放大器位于箱體內，待測硅晶體放置在樣品臺上，微帶天線在硅晶體的正上方，微波源與環行器、微帶天線、檢波器之間通過同軸線連接，檢波器、寬帶放大器、數字示波器通過高頻電纜依次連接。所述脈沖激光器發射的激光傾斜照射在樣品上，微帶天線發射并接收微波信號，然后接收的微波信號被檢波器檢出并輸入到寬帶放大器輸入端，數字示波器動態測量出待測樣品的載流子復合壽命值。本實用新型具有體積小、重量輕、功耗小、成本低的優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人廣州市昆德科技有限公司;
- 發明人王昕;李俊生;馮小明;鐘雄;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區白沙水路123號東門三樓
- 申請號CN201120545038.9
- 申請時間2011年12月22日
- 申請公布號CN202433489U
- 申請公布時間2012年09月12日
- 分類號G01R31/26(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
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