摘要：本發明提供一種晶體管工藝波動檢測系統和檢測方法，其中，系統包括待測單元陣列、行列譯碼器、行列選擇器和振蕩器；待測單元陣列為由至少兩個待測單元組成的陣列；行列譯碼器分別與各待測單元連接，用于選定待測單元；行列選擇器分別與振蕩器和各待測單元中的待測晶體管連接，用于將選定的待測晶體管連接至振蕩器；振蕩器將待測晶體管的輸出信號轉換為脈沖信號，脈沖信號的頻率與待測晶體管的閾值電壓對應，以通過脈沖信號頻率的波動確定待測晶體管的閾值電壓的波動。本發明提供的晶體管工藝波動檢測系統和檢測方法能夠解決現有的半導體晶體管工藝波動的檢測方法較復雜的問題，實現了對晶體管工藝波動進行快速、簡便地檢測。
- 專利類型發明專利
- 申請人龍芯中科技術有限公司;
- 發明人秦石強;張譯夫;楊梁;崔明艷;肖斌;
- 地址100095 北京市海淀區中關村環?？萍际痉秷@龍芯產業園2號樓
- 申請號CN201410409294.3
- 申請時間2014年08月19日
- 申請公布號CN105353288A
- 申請公布時間2016年02月24日
- 分類號G01R31/26(2014.01)I;
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