摘要：本實用新型公開了一種掃描式微波反射法載流子復合壽命測試系統，該測試系統包括脈沖激光系統、微波系統、數據采集系統、掃描運動系統、運動控制系統，測試控制系統和探頭，掃描運動系統用于將探頭進行三維定位，運動控制系統分別與掃描運動系統、測試控制系統相連，用于根據測試控制系統指令驅動掃描運動系統動作；脈沖激光系統、微波系統均設置在探頭內，微波系統與數據采集系統相連，數據采集系統和測試控制系統相連。脈沖激光系統產生脈沖式的紅外激光，穿過微波系統中微帶天線的中間開孔垂直照射在樣品臺上的被測樣品表面。本實用新型可對大面積的半導體晶體材料進行載流子壽命分布情況的掃描式測量，且結構更加緊湊，探頭體積小。
- 專利類型實用新型
- 申請人廣州市昆德科技有限公司;
- 發明人王昕;李俊生;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區白沙水路123號東門三樓
- 申請號CN201420582020.X
- 申請時間2014年10月09日
- 申請公布號CN204154617U
- 申請公布時間2015年02月11日
- 分類號G01N17/00(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
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