摘要：本實用新型公開了一種晶圓狀物件的輸送系統，涉及半導體晶圓制造技術領域，包括至少兩個處理單元(1)、機械手(2)，所述機械手(2)，與各處理單元(1)的距離相等，用于將待處理晶圓狀物件放置到所述處理單元(1)中，并將處理完畢的晶圓狀物件取出。本實用新型通過使機械手與各處理單元的距離相等，依靠兩個機械手自身旋轉和升降實現晶圓狀物件存取操作，并可以通過暫存臺進行過渡完成一次傳片過程，或者采用以帶導軌機械手從卡匣區域取片后直接由通過機械手在導軌上的移動送到處理單元區域，這兩種方式運動路徑簡單，存取快速可靠，同時與同類型設備相比本實用新型能有效降低所占用的足跡面積。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人高浩;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201120462496.6
- 申請時間2011年11月18日
- 申請公布號CN202363437U
- 申請公布時間2012年08月01日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;
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