摘要：本實用新型公開了一種半導體擴散設備的石英舟升降裝置，包括驅動機構、支撐件、雙直線導軌、滾珠絲杠、連接板和承載石英舟的升降臂。支撐件橫截面為U形，雙直線導軌直立地對稱設置在支撐件兩側，滾珠絲杠設置在支撐件中部，其由驅動機構驅動轉動；連接板安裝于滾珠絲杠且與雙直線導軌滑動連接，隨著滾珠絲杠的轉動沿雙直線軌道的方向上升或下降；升降臂與連接板固定連接，由連接板的運動帶動上升或下降。本實用新型的石英舟升降裝置結構緊湊，受力合理且維護方便。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人林欣家;郝琪;董金衛;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201320778607.3
- 申請時間2013年11月29日
- 申請公布號CN203596342U
- 申請公布時間2014年05月14日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;
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