摘要：本發明公開了一種半導體運動傳輸模塊的異常處理方法，用于在作業運行期間捕捉并處理所述半導體設備中各個運動傳輸模塊所發生的異常情況，所述異常處理方法包括捕捉所述作業運行期間的異常情況并定位發生該異常情況的運動傳輸模塊；提供該運動傳輸模塊的異常情況信息以及對應于該異常情況的至少一種處理方式；以及依據觸發信號選擇一種所述處理方式對該異常情況進行處理。本發明還提供了一種異常處理系統，提高了對于作業期間異常情況的捕捉和處理效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人魏靖南;黃揚君;賈軼群;鐘結實;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410058365.X
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103794536B
- 申請公布時間2017年01月25日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;G06F11/07(2006.01)I;
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