摘要：本實用新型涉及硅片生產領域，公開了一種傳輸硅片花籃的90°旋轉機構，由旋轉單元和由旋轉單元支撐的傳輸單元組成。傳輸單元包括傳輸驅動組件、主動輪、從動輪、傳送帶以及頂面圓盤，硅片花籃放置在頂面圓盤上，由傳輸驅動組件驅動主動輪和從動輪和傳送帶移動硅片花籃，使硅片花籃進入和離開旋轉機構。旋轉單元由旋轉單元支撐板、旋轉圓盤和旋轉驅動裝置組成，旋轉圓盤在旋轉單元支撐板的圓孔中平穩的轉動帶動傳輸單元及放置在傳輸單元上的硅片花籃轉動，通過傳輸單元和旋轉單元的配合實現傳輸線上的硅片花籃90°轉向。由于旋轉圓盤放置在偏心凸輪導向器上旋轉，其旋轉過程平穩性好，克服現有技術旋轉時平衡性差的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人李廣旭;張恒峰;王守琛;徐現飛;李補忠;王廣明;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320788382.X
- 申請時間2013年12月03日
- 申請公布號CN203659826U
- 申請公布時間2014年06月18日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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