摘要：本發明公開了一種半導體晶圓運送系統，涉及半導體晶圓制造技術領域，包括：至少兩個晶圓裝載埠、至少兩個工藝單元和運送裝置；其中，所述晶圓裝載埠，呈線性排列，用于承載晶圓倉儲盒；所述工藝單元，呈至少兩層的層狀結構，每一層中的所述工藝單元呈線性排列，且與線性排列的所述晶圓裝載埠平行；所述運送裝置，用于拾取晶圓并將其放入所述工藝單元中。本發明通過將工藝單元分層布置，有效地減小了系統的占地面積，本發明還通過將機械手與導軌相配合使用，減少了機械手的數量和內部存儲單元的數目，因而能夠降低成本，同時本發明可以減少了送片時間，提高產量。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人趙宏宇;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110286931.9
- 申請時間2011年09月23日
- 申請公布號CN102332418A
- 申請公布時間2012年01月25日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;
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