摘要：本發明涉及機械手技術領域，提供了一種手指間距可調的搬運機械手及其晶圓搬運裝置。其中機械手包括：設有機械手指（11）的手指單元（10）；固定設置有軸承的連桿（20）；其中一個軸承與一個手指單元（10）固定連接，其余的手指單元（10）的后端一側開設有沿機械手指方向的槽（40），軸承嵌入槽（40）內并可移動組成曲柄滑塊機構；手指單元（10）的后端另一側設有導軌（60），導軌（60）沿豎直方向設置，手指單元（10）通過滑塊（50）沿導軌（60）運動；其中一個手指單元（10）沿豎直方向運動，帶動連桿（20）繞與一個手指單元（10）固定連接的軸承轉動，帶動其他手指單元（10）沿導軌（60）做上下運動。本發明實現了對機械手指間距的有效調節。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人曲道奎;李學威;趙嘉博;陳雷;何元一;柴源;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201310451911.1
- 申請時間2013年09月28日
- 申請公布號CN104517879A
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;
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