摘要：一種半導體設備承載區域的硅片分布狀態組合檢測方法及裝置，在位于硅片組上方的承載器端蓋內表面，設置有與端蓋中心對稱的兩條平行滑軌，在軌道的相對位置設置有第一和第二光電傳感器組/超聲波傳感器組；在位于硅片承載器圓周側邊的機械手U形端部相對位置上，設置有第三和第四光電傳感器組；且承載器和機械手間可以作相對旋轉和/或定位的運動；在第一檢測子階段的自接收模式下，執行硅片凸片的異常狀態極限位置預掃描指令；通過在第二和第三檢測子階段的互接收模下，執行硅片凸片的異常狀態循環掃描指令和執行硅片分布狀態異常掃描指令，對硅片發生處于凸片、疊片、斜片或無片等異常分布狀態進行掃描檢測，且在承載器的周圍布設多個掃描檢測點，進一步地提高了檢測精度。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;王凱;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510336793.9
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN104916573A
- 申請公布時間2015年09月16日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;
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