摘要：本實用新型為一種反應腔室蓋板，包括：反應腔室隔板、傳片門板、連桿機構以及電機；所述反應腔室隔板設于反應腔室側面，并開有對應于反應腔室入口的方孔；所述傳片門板可在所述反應腔室隔板上運動；所述連桿機構包括至少一根連桿；所述傳片門板、連桿機構、電機依次連接，連桿機構能夠在電機的驅動下帶動傳片門板運動，以將反應腔室隔板上的方孔打開或關閉。本實用新型采用連桿機構傳動傳片門，結構簡單易行，較容易控制開啟的高度，并且使用電機驅動連桿機構來控制傳片門的開關，較為容易控制，與采用氣缸傳動相比，可節省氣缸氣源。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人昝威;吳儀;張曉紅;裴立坤;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201120361347.0
- 申請時間2011年09月23日
- 申請公布號CN202307825U
- 申請公布時間2012年07月04日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;
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