摘要：本發明提供了一種半導體設備的硅片承載裝置中硅片的安全放置方法，通過示教數據設置機械手的運動軌跡和位置，利用機械手片叉上的傳感器組來探測片叉和硅片之間的距離測量值，根據距離測量值來計算判斷硅片所在平面與機械手的片叉所在平面的截交線方程并據此計算出硅片相對于片叉的傾斜角，從而判斷硅片是否會產生滑動，確保硅片放置后不產生滑動。因此，本發明實現了在放片過程中對硅片的位姿進行了判斷，從而避免機械手片叉觸碰到硅片導致硅片受損，提高了放片過程的安全性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201511021420.9
- 申請時間2015年12月31日
- 申請公布號CN105489532A
- 申請公布時間2016年04月13日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;
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