摘要：本發明提供了一種集成調度系統的EFEM及其調度方法，通過把工藝處理工作站(Cluster?tools)中起調度作用的工控機與EFEM的控制器結合，即EFEM的控制器由集成調度的EFEM工控機取代，使得EFEM具有良好的二次開發性，在運行系統時可以根據具體需求對大氣機械手、Load?Port組、預對準模塊等模塊進行示教、信號配置、工藝過程處理。同時將大氣機械手、Load?Port組、預對準模塊這些模塊的底層驅動嵌入到EFEM中，所以無需再進行設置開發即可實現調度控制。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人曲道奎;徐方;賈凱;褚明杰;劉一恒;劉世昌;沈德峰;陳廷輝;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201210003784.4
- 申請時間2012年01月06日
- 申請公布號CN103199036A
- 申請公布時間2013年07月10日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
