摘要：本發明公開了一種半導體熱處理設備工藝門狀態的檢測裝置，包括上測距傳感器和檢測單元。所述上測距傳感器至少為三個，設于所述工藝門側面位于所述工藝門上表面下方的同一高度、沿工藝門圓周分布，用于當所述工藝門上升至與所述半導體熱處理設備的反應管下端的石英管法蘭接觸的工藝門關閉位置時，測量所述工藝門至所述石英管法蘭的距離。所述檢測單元根據各所述上測距傳感器的測量值檢測所述工藝門的密封狀態和/或水平度。本發明能夠在工藝過程中快速準確地檢測工藝門的密封度和/或水平度。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;劉慧;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201610929337.X
- 申請時間2016年10月31日
- 申請公布號CN106340467A
- 申請公布時間2017年01月18日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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