摘要：一種組合式半導體熱處理設備的硅片承載區掃描的方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側邊的機械手上U形端部的相對位置，設置有兩個工作在自接收和/或互接收模式的光電傳感器/超聲波傳感器，執行硅片凸片的異常狀態預掃描和循環掃描指令，以及圖像傳感單元(包括多個圖像傳感器)固定位于承載器側周，即布設多個掃描檢測點，其將隨所述承載器移動至其坐標位置的第一個放置硅片的位置作為起始采集位置，沿硅片放置的平行方向拍攝所有硅片的側邊平面圖像，并判斷相應硅片是否存在斜片、疊片和/或空片的異常狀態；本發明可以快速準確檢測硅片半導體設備承載區域內的硅片分布狀態，很好地避免了機械手運動造成硅片及設備損傷。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510337040.X
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN105097590A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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