摘要：本實用新型公開了一種多路實時膜厚監控儀，它包括主機和連接在主機上的至少一個振蕩探測組件，所述振蕩探測組件由振蕩器和探頭組成，振蕩器的輸出端連接主機，而輸入端連接探頭。本實用新型所述多路實時膜厚監控儀可多路同步實時動態監測多個鍍膜蒸發源頭內膜層的幾何厚度、沉積速率等鍍膜參數，掌握每個蒸發源的蒸發速率和膜層厚度，然后通過單片機PWM輸出來同時實現多臺鍍膜設備的高精度鍍膜功率控制，故在實際的使用過程中，可以替代多臺常規產品使用，成本低、但效率高。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州碩光科技有限公司;
- 發明人吳向方;劉俊男;
- 地址215011江蘇省蘇州市新區玉山路1號
- 申請號CN200920141754.3
- 申請時間2009年02月19日
- 申請公布號CN201369319Y
- 申請公布時間2009年12月23日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;
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