摘要：一種硅片分布狀態圖像組合檢測方法以及裝置，該裝置包括在位于硅片組上方設置圖像傳感單元，以及設置在機械手上的光電掃描單元或超聲掃描單元；且光電掃描單元或超聲掃描單元通過機械手驅動水平或垂直定位；在第一檢測階段的圖像采集模式下，執行硅片凸片的異常狀態極限位置預掃描指令；通過在第二檢測階段的光電掃描/超聲掃描單元先工作在自接收測距模式，進行在預掃描出凸片上方所有硅片的循環掃描指令，第三檢測階段轉換為互接收工作模式，執行硅片分布狀態異常掃描指令，以及第四檢測階段又轉換成自接收工作模式，執行在預掃描出凸片下方所有硅片的循環掃描指令；且在承載器的周圍布設多個掃描檢測點，進一步地提高了檢測精度。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510338376.8
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN104979229A
- 申請公布時間2015年10月14日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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