摘要：一種半導體設備承載區域的硅片分布狀態光電掃描方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側邊的機械手上U形端部的相對位置，設置有兩個互為發射端和接收端的光電傳感器，機械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動，且承載器和機械手間可以作相對旋轉和/或定位的運動；通過兩個對射式光電傳感器的反饋值接收時間隨遮擋的范圍產生強度上或寬度上的變化，對硅片發生處于凸片、疊片、斜片或無片等異常分布狀態進行掃描檢測，且在承載器的周圍布設多個掃描檢測點，進一步地提高了檢測精度。因此，本發明可以快速準確檢測硅片半導體設備承載區域內的硅片分布狀態，很好地避免了機械手運動造成硅片及設備損傷，且實現簡單。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;王凱;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510337909.0
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN105097592A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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