摘要：本發明提供了一種硅片分布狀態光電圖像組合掃描的方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側邊的機械手上U形端部的相對位置，設置有兩個工作在自接收和/或互接收模式的光電傳感器，機械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動，執行硅片凸片的異常狀態預掃描和循環掃描指令，以及圖像傳感單元定位于承載器側邊周圍，并沿硅片的平行方向，從上至下依次拍攝硅片組中每片硅片的側邊平面圖像，判斷相應硅片是否存在斜片、疊片和/或空片的異常狀態；且本發明還在承載器的周圍布設多個掃描檢測點，可以快速準確檢測硅片半導體設備承載區域內的硅片分布狀態，很好地避免了機械手運動造成硅片及設備損傷，且進一步地提高了檢測精度。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510337586.5
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN105097591A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
