摘要：本發明公開了一種工藝管排氣裝置，將半導體立式熱處理設備工藝管的排氣口與連通排氣管路的排氣管采用法蘭相對接，法蘭連接面之間具有間隙，并設有密封圈密封，在一側法蘭的連接面位于密封圈與法蘭內壁之間處設有吹氣口，吹氣口通過法蘭本體內的吹氣腔道連通至吹氣進氣口，二側法蘭通過夾緊調節機構相固連；冷卻吹掃氣體經由吹氣進氣口、吹氣腔道、吹氣口進入法蘭連接面之間的間隙，起到阻隔高溫尾氣、冷卻密封圈及調節排氣管內部溫度和壓力的作用，此外，在工藝處理前，通過氣體吹掃，還可以達到凈化排氣管路的效果。本發明具有密封性好、提高耐溫性、結構設計簡單和具有可調性等顯著特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人徐冬;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410200372.9
- 申請時間2014年05月13日
- 申請公布號CN103985632A
- 申請公布時間2014年08月13日
- 分類號H01L21/324(2006.01)I;
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