摘要：本發明提供了一種可快速風冷的熱處理裝置，包括爐體，所述爐體設有內壁、外壁、連接板，所述內壁與所述外壁的底部設有入風口，所述連接板用于連接所述內壁及所述外壁，所述連接板上設有若干供氣流通過的通孔；所述爐體的頂部設有可拆卸的排風裝置，所述排風裝置上設有至少一個供氣流通過的排風口，所述入風口與所述排風口連通。本發明通過在爐體上設有內外壁用于通風的夾層，內壁與外壁的底部不連接成為風的入口，在爐體的頂部設置可拆卸的排風裝置。在爐體降溫的過程，向內外壁的夾層中通入冷風，排送至排風口，起到加快爐體降溫的效果。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人董金衛;孫少東;徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410058258.7
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103762164B
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號H01L21/324(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
