摘要：本實用新型涉及一種硅片傳送裝置，其特征在于：它包括水平驅動機構，垂直驅動機構、旋轉驅動機構、機械手叉、預對準機構和控制系統；旋轉驅動機構和機械手叉在垂直驅動機構的帶動下沿豎直方向移動；機械手叉在旋轉驅動機構的帶動下旋轉取片；預對準機構前部設置有一轉軸電機帶動的轉軸，轉軸上端連接一吸盤，轉軸下端與真空泵連通；預對準機構的前端設置有電連接控制系統的一對水平光電傳感器、一對豎直光電傳感器和一智能相機。本實用新型能夠在搬運過程中對硅片上的定位槽進行對準并且讀取硅片信息，它可以廣泛應用于各類薄型基片的搬運過程中。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京自動化技術研究院;
- 發明人陳百捷;姚廣軍;劉影;蔣俊海;劉學輝;趙力行;
- 地址100009 北京市西城區鼓樓西大街41號
- 申請號CN201320101298.6
- 申請時間2013年03月06日
- 申請公布號CN203103273U
- 申請公布時間2013年07月31日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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