摘要：本發明屬于半導體晶片工藝技術領域，公開了一種盤狀物夾持裝置。本發明所提供的盤狀物夾持裝置通過設置兩組夾持元件組，每組夾持元件組分別包括若干個夾持元件，且每個夾持元件均可以其與卡盤主體的連接點為旋轉中心在豎直平面旋轉，并在每個夾持元件相對的位置設置驅動組件，用于推動或吸引夾持元件以其旋轉中心旋轉，實現夾持或打開晶片，通過控制驅動組件，使得在晶片清洗過程中兩組夾持元件組交替夾持、打開晶片，實現對夾持元件與晶片接觸地方的清洗，大大提高了晶片的整體清洗質量。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人劉福生;張豹;王銳廷;吳儀;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210406346.2
- 申請時間2012年10月23日
- 申請公布號CN102945820A
- 申請公布時間2013年02月27日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;
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