摘要：一種晶圓預對準裝置，包括基板、設置于基板上的第一支撐裝置、用于驅動第一支撐裝置相對基板旋轉的第一驅動裝置、部分設置于基板下方的第二支撐裝置、用于驅動第二支撐裝置相對基板上下移動的第二驅動裝置。第一支撐裝置包括多個用于支撐晶圓的第一支撐臂，第二支撐裝置包括多個用于支撐晶圓的第二支撐臂，預對準時，第一支撐裝置的旋轉和第二支撐裝置的上下運動實現晶圓的交接，交接過程中實現晶圓位置的調整。第一支撐裝置的旋轉和第二支撐裝置的上下運動過程中，多個第一支撐臂或多個第二支撐臂同時動作，使晶圓受力均勻，不會出現無法支撐晶圓的后果，實現晶圓穩定交接以完成預對準。該晶圓預對準裝置的穩定性較好，可以大大提高預對準效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人邊弘曄;張鵬;陳守良;曲道奎;徐方;李學威;溫燕修;鄒風山;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201210002091.3
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199050B
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;
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