摘要：本發明涉及半導體集成電路器件清洗技術領域，公開了一種具有監測半導體晶片狀態功能的夾持裝置，包括：可旋轉的卡盤、位于所述卡盤幾何中心的旋轉軸、固定于所述旋轉軸上的傳感器、以及分布在所述卡盤上的至少三個夾持元件。本發明還提供了一種監測半導體晶片狀態的方法。本發明通過凸輪和卡盤的相對轉動來放松或夾緊晶片，結構簡單、容易實現，進一步通過傳感器精確測量晶片是否夾緊，避免了夾緊力過小造成晶片夾持不緊，或者夾緊力過大造成對晶片的破壞，穩定性得以提高。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人劉偉;吳儀;張豹;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210348350.8
- 申請時間2012年09月18日
- 申請公布號CN102867771A
- 申請公布時間2013年01月09日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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