摘要：本實用新型公開了一種硅片支撐腳裝置，包括安裝在半導體工藝設備硅片傳送系統中硅片存儲臺上端的環形支撐環，安裝在支撐環圓周上的支撐硅片的若干支撐腳，其特征在于，所述支撐腳為柱形，其上端設有硅片支撐面，其下端與所述支撐環連接；所述支撐環的內徑小于由所述若干支撐腳的所述硅片支撐面內側所圍成的圓的直徑。本實用新型通過減少支撐腳的水平方向長度，使得支撐環的外徑得以縮小，從而減小了存儲臺的占地面積，并可避免硅片在因偏差滑出支撐腳裝置時從支撐環的內徑處落地破碎。具有結構簡單、易實現、可節省設備占地面積并降低硅片破損率的顯著特點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人李廣義;趙宏宇;徐俊成;孫文婷;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201420211796.0
- 申請時間2014年04月28日
- 申請公布號CN203859107U
- 申請公布時間2014年10月01日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;
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