摘要：本實用新型公開了一種牽引級復合分子泵，包括：泵殼固定設在底盤上；主軸座設在底盤上，主軸經主軸座設在底盤上，主軸頂端設在泵殼內；電機驅動主軸；轉子體固定設在泵殼內的主軸上，轉子體外周上沿軸向固定設置至少一層渦輪動葉片；沿轉子體軸向設置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過隔離環固定在泵殼上，渦輪靜葉片與轉子體外周上設置的渦輪動葉片交替排列；轉子體內設有筒式牽引級轉子，筒式牽引級轉子內設置筒式牽引級定子，筒式牽引級定子與筒式牽引級轉子具有配合間隙；筒式牽引級定子與筒式牽引級轉子之間設有螺旋狀導流槽，螺旋狀導流槽的出口與主軸座上設置的排氣口連接。其抽速大、壓縮比高和前級抗壓能力較強，是高性能復合分子泵。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人董欣;郁晉軍;于天化;
- 地址102600 北京市大興區大興工業開發區前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請號CN201320287090.8
- 申請時間2013年05月23日
- 申請公布號CN203308733U
- 申請公布時間2013年11月27日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;F04D29/52(2006.01)I;
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