摘要：本實用新型公開一種耐腐蝕分子泵，包括設置有通道的泵體，所述通道的一端為吸氣口，另一端為排氣口；通道內設置有轉軸，套設于轉軸外的轉子，以及連通吸氣口和排氣口的抽氣機構；轉子朝向轉軸支撐端的一端與轉軸支撐端配合形成有密封氣體通道；轉軸支撐端的端面上設置有葉槽輪，葉槽輪朝向轉子的端面上設置有多個槽谷，多個槽谷的旋向與轉子的轉動方向一致。轉子以適當轉速轉動時，葉槽輪與轉子牽引面之間將形成密封氣體的動密封結構并產生單向抽氣的功能，使得密封氣體從轉軸的軸系腔通過密封氣體通道流向分子泵的排氣口，從而阻擋腐蝕性氣體進入軸系腔，實現腐蝕性氣體良好的密封隔離效果，并且該分子泵結構簡單并具有廣泛適用性。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人范斌;鄧高飛;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201220721315.1
- 申請時間2012年12月24日
- 申請公布號CN203114662U
- 申請公布時間2013年08月07日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;
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