摘要：本實用新型涉及一種烘烤電極。該烘烤電極包括電極桿、放置所述電極桿的絕緣座、安裝于所述絕緣座底部的法蘭，所述烘烤電極還包括絕緣套，其罩住所述電極桿及絕緣座上部暴露于真空鍍膜室中的部分。本實用新型的烘烤電極通過在電極桿兩端設置螺紋，在螺紋上安裝螺母及墊圈，實現了導線與電極桿可靠連接；通過在電極桿暴露于真空鍍膜室的部分包裹絕緣套，避免了該導線與其它電極上的導線接觸或將絕緣座與電極桿連接部分蒸鍍上導電材料造成短路。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人汪光武;徐建龍;黃芃;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請號CN200920110302.9
- 申請時間2009年07月24日
- 申請公布號CN201459230U
- 申請公布時間2010年05月12日
- 分類號C23C14/22(2006.01)I;
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