摘要：本實用新型涉及一種行星工件架，包括電機、動密封裝置、中心齒輪、行星架、工件盤、行星齒輪和行星齒輪部件，其特征在于：所述電機包括第一電機和第二電機；所述第一電機與所述行星架連接，用于驅動所述行星架，使所述行星架與所述第一電機同軸轉動；所述行星架通過所述行星齒輪部件與所述行星齒輪連接，通過所述行星架的轉動帶動所述行星齒輪轉動；所述第二電機連接有定齒輪，由所述第二電機驅動所述定齒輪，使定齒輪與第二電機同軸轉動；所述定齒輪與所述中心齒輪嚙合，由所述定齒輪的轉動帶動所述中心齒輪轉動；所述行星齒輪與所述中心齒輪嚙合。該行星架可以做行星運動、或僅做公轉運動、或在某一固定點做自轉運動，并且自轉轉速可調可控。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人安其;張永和;董玢越;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請號CN201020214193.8
- 申請時間2010年05月25日
- 申請公布號CN201729872U
- 申請公布時間2011年02月02日
- 分類號C23C14/50(2006.01)I;
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