摘要：本發明公開了一種高性能復合分子泵，包括泵殼、轉子體、底盤、油池座等，轉子體與電機主軸固定連接，該分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片級與筒式牽引級串聯而成；渦輪葉片級包括設于轉子體上的渦輪動葉片和設于隔離環上的渦輪靜葉片；筒式牽引級包括設于轉子體與牽引級定子之間的螺旋導流槽；隔離環和牽引級定子固定于所述泵殼上?？梢酝瑫r兼備大抽速和高壓縮比，并具有較強的前級抗壓能力，可獲得高真空與超高真空。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人郁晉軍;董欣;于天化;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請號CN201210057294.2
- 申請時間2012年03月06日
- 申請公布號CN102536853A
- 申請公布時間2012年07月04日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;F04D29/54(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;
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