摘要：本實用新型涉及一種渦輪分子泵保護裝置，包括活塞、保護器本體；活塞通過彈簧與保護器本體連接，保護器本體具有與前級泵連接的接入口，接入口與保護器本體內部的空腔連通；保護器泵體之外固定設置接線盒，接線盒上設有彈性觸點；當接入口接入分子泵前級真空系統，且前級泵啟動時，活塞在壓差作用下運動，活塞的突出部分與接線盒上面的彈性觸點接觸，使兩觸點導通，此開關信號作為渦輪分子泵的啟動信號；當前級真空系統故障時，內外壓差不足以使活塞與本體緊密接觸，在彈簧的作用力下分離，此時兩觸點之間不能導通，渦輪分子泵隨即自行停機而受到保護。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海舜宇恒平科學儀器有限公司;
- 發明人王華;董小魯;吳亮亮;王岳東;
- 地址201103 上海市閔行區合川路3071號-1075
- 申請號CN201620036688.3
- 申請時間2016年01月15日
- 申請公布號CN205592163U
- 申請公布時間2016年09月21日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I;F04D29/08(2006.01)I;
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