摘要：本實用新型提供了一種新型真空鍍膜用“U”形真空室，所述“U”形真空室包括一底板以及位于底板兩側的側板，其特征在于：所述真空室底板及側板之間為無縫“U”形結構。本實用新型具有結構簡單、節省材料、安全性能高的特點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人張迎春;劉潔雅;李佳;袁青春;
- 地址102600北京市大興區大興工業開發區前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請號CN200720103860.3
- 申請時間2007年03月16日
- 申請公布號CN201010690Y
- 申請公布時間2008年01月23日
- 分類號C23C14/56(2006.01);
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