摘要：本實用新型屬于流體機械技術領域，尤其涉及用于半導體、節能燈、太陽能制造行業獲得真空的一種抗大氣沖擊的分子泵，本分子泵包括底盤，底盤中部安裝有電機，轉子扣裝在底盤上，泵殼通過螺釘固定扣裝在轉子與底座上，泵殼頂部設有進氣口，底盤側面靠近底部設有排氣口；轉子由圓柱形硬質鋁合金材料整體加工成型，轉子從頂部至底部均勻開有4～8個螺旋形排氣槽，轉子內部設有一個安裝層，其上下兩側為中空腔體，安裝層中心位置開有一個錐形通孔；電機主軸延伸到底盤上部的部分插入轉子安裝層上的錐形通孔內，與錐形通孔緊密配合，本實用新型具有結構簡單，便于維護，能降低生產成本，易于加工，轉子強度高，具有抗大氣沖擊能力等優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人董欣;郁晉軍;劉敏強;于天化;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請號CN201320578477.9
- 申請時間2013年09月18日
- 申請公布號CN203488393U
- 申請公布時間2014年03月19日
- 分類號F04D25/06(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I;F04D29/063(2006.01)I;
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