摘要：一種大流量復合分子泵，抽氣系統由渦輪動片及牽引級組成，通過軸套固定在泵主軸上，泵主軸由上軸承和下軸承共同支撐。本實用新型適用于磁控濺射設備配套，設計合理，經濟實用，強度高、安全性能好，提高了泵的抗氣體沖擊能力同時渦輪級減少，降低了對氣體的壓縮比，也減少了氣體的摩擦發熱，為大流量復合分子泵長期中真空狀態創造條件，又因其結構特征泵的成本低、體積更矮、更方便安裝。具有一定經濟效益和社會效益。
- 專利類型實用新型
- 申請人成都無極真空科技有限公司;
- 發明人葛明;羅進軍;閻亞林;
- 地址610091 四川省成都市青羊區文家蛟龍工業港A2
- 申請號CN201220055198.X
- 申請時間2012年02月21日
- 申請公布號CN202545291U
- 申請公布時間2012年11月21日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;
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