摘要:一種大流量復合分子泵,抽氣系統由渦輪動片及牽引級組成,通過軸套固定在泵主軸上,泵主軸由上軸承和下軸承共同支撐。本實用新型適用于磁控濺射設備配套,設計合理,經濟實用,強度高、安全性能好,提高了泵的抗氣體沖擊能力同時渦輪級減少,降低了對氣體的壓縮比,也減少了氣體的摩擦發熱,為大流量復合分子泵長期中真空狀態創造條件,又因其結構特征泵的成本低、體積更矮、更方便安裝。具有一定經濟效益和社會效益。
- 專利類型實用新型
- 申請人成都無極真空科技有限公司;
- 發明人葛明;羅進軍;閻亞林;
- 地址610091 四川省成都市青羊區文家蛟龍工業港A2
- 申請號CN201220055198.X
- 申請時間2012年02月21日
- 申請公布號CN202545291U
- 申請公布時間2012年11月21日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;