摘要:本發明公開了一種分子泵的轉子,在轉子的每層葉片之間不留間隙,并去除原分子泵轉子中的定片,直接將各層葉片層聯接;并通過調整不同層葉片的抽速與壓縮比,使所述轉子整體各層葉片的抽氣效能相互銜接。所述各層轉子葉片被設計成相鄰層葉片首尾相連的渦輪型結構,并利用光滑連續的曲面連接所述各層轉子葉片。通過優化轉子葉片的結構,大幅降低加工轉子的難度,并降低了分子泵的損壞幾率。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人董欣;郁晉軍;朱秀明;
- 地址102600 北京市大興區大興工業開發區前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請號CN201510092140.0
- 申請時間2015年02月28日
- 申請公布號CN104613008A
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號F04D29/32(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;