摘要：本實用新型涉及集成電路加工工藝技術領域，具體公開了一種薄片盤狀物清洗甩干器，包括：甩干裝置，其上具有第一噴嘴、第二噴嘴和真空孔，分別與液體管、氣體管和真空管連接；卡盤，設置在所述甩干裝置的下方，能夠與所述薄片盤狀物一起旋轉。本實用新型實施例通過采用氣體和藥液同時作用在薄片盤狀物背部，對其進行清洗和甩干，并通過對殘留液滴進行抽真空，能夠將薄片盤狀物背面的藥液殘留和顆粒徹底清洗干凈，保證薄片盤狀物的無污染，且本裝置結構簡單、易于實現。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人凱里·雷;王浩;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201120552147.3
- 申請時間2011年12月26日
- 申請公布號CN202423230U
- 申請公布時間2012年09月05日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;
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